[发明专利]包括气体传感器的集成电路有效
申请号: | 201310098655.2 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN103364455A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 奥瑞利·休伯特;罗埃尔·达门;菲特·恩古耶恩 | 申请(专利权)人: | NXP股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/18 | 分类号: | G01N27/18 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种集成电路以及其制造方法。该集成电路包括具有主表面的半导体衬底。该集成电路还包括具有电阻性传感器元件的基于导热性的气体传感器,所述传感器元件位于主表面上以暴露于待感测的气体。该集成电路还包括阻挡部,所述阻挡部位于主表面上以抑制气体经过传感器元件流动。 | ||
搜索关键词: | 包括 气体 传感器 集成电路 | ||
【主权项】:
一种集成电路,包括:具有主表面的半导体衬底;具有电阻性传感器元件的基于导热性的气体传感器,所述传感器元件位于主表面上以暴露于待感测的气体;以及阻挡部,所述阻挡部位于主表面上以抑制气体经过传感器元件流动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司,未经NXP股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310098655.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。