[发明专利]偏振元件以及偏振元件的制造方法有效
| 申请号： | 201310092317.8 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN103323901A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 青田雅明 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;G02B1/10;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种高温可靠性优异的线栅型偏振元件。本发明的偏振元件具备：多条金属细线（118A），其在基板（111A）的一个面（111B）上沿一个方向延伸；保护层（113），其设置在多条金属细线（118A）上；以及空洞部（118B），其由彼此相邻的两条金属细线（118A）、基板（111A）以及保护层（113）围成。金属细线（118A）的端部（120）在一个方向的剖面处具有正锥形形状，保护层（113）经由端部（120）从多条金属细线（118A）上延伸至基板的一个面（111B）。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 元件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种偏振元件，其特征在于，具备：多条金属细线，其在基板的一个面上沿一个方向延伸；保护层，其设置在所述多条金属细线上；以及空洞部，其由所述多条金属细线中彼此相邻的两条金属细线、所述基板以及所述保护层围成，所述多条金属细线各自的端部在所述一个方向的剖面处具有正锥形形状，所述保护层经由所述多条金属细线各自的端部，从所述多条金属细线上延伸至所述基板的一个面。
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