[发明专利]偏振元件以及偏振元件的制造方法

权利要求书

1.一种偏振元件，其特征在于，具备：

多条金属细线，其在基板的一个面上沿一个方向延伸；

保护层，其设置在所述多条金属细线上；以及

空洞部，其由所述多条金属细线中彼此相邻的两条金属细线、所述基板以及所述保护层围成，

所述多条金属细线各自的端部在所述一个方向的剖面处具有正锥形形状，

所述保护层经由所述多条金属细线各自的端部，从所述多条金属细线上延伸至所述基板的一个面。

2.根据权利要求1所述的偏振元件，其特征在于，

所述空洞部的氧浓度低于所述保护层外的氧浓度。

3.根据权利要求1或2所述的偏振元件，其特征在于，

在所述空洞部中封入有惰性气体。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的偏振元件，其特征在于，

所述多条金属细线以及多个所述空洞部被所述保护层与所述基板密封。

5.一种偏振元件的制造方法，其特征在于，

所述偏振元件具备：

多条金属细线，其在基板的一个面上沿一个方向延伸；

保护层，其设置在所述多条金属细线上；以及

空洞部，其由所述多条金属细线中彼此相邻的两条金属细线、所述基板以及所述保护层围成，

所述多条金属细线各自的端部在所述一个方向的剖面处具有正锥形形状，

所述偏振元件的制造方法具有：

金属膜形成工序，在所述基板的一个面上形成金属膜；

抗蚀剂形成工序，在所述金属膜上形成条纹状的抗蚀剂图案；

图案形成工序，将所述条纹状的抗蚀剂图案作为掩模来对所述金属膜进行蚀刻，从而形成所述多条金属细线；以及

保护层形成工序，在所述多条金属细线上形成所述保护层，

在所述金属膜形成工序中，按照使所述金属膜的端部具有正锥形形状的方式形成所述金属膜，

在所述保护层形成工序中形成所述保护层，从而形成由所述两条金属细线、所述基板以及所述保护层围成的所述空洞部。

6.根据权利要求5所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

在所述保护层形成工序中，通过从与所述一个方向交叉并且相对于所述基板的一个面的法线倾斜的方向进行斜向蒸镀的方法形成所述保护层。

7.根据权利要求5或6所述的偏振元件的制造方法，其特征在于，

在所述金属膜形成工序中，在膜源与所述基板之间设置掩模来通过蒸镀的方法在所述基板的一个面上形成所述金属膜，从而使所述金属膜的端部具有正锥形形状。

8.一种投影仪，其特征在于，

具备权利要求1～4中任一项所述的偏振元件。

9.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1～4中任一项所记载的偏振元件。