[发明专利]用于光刻设备的调平调焦装置有效
| 申请号： | 201310091090.5 | 申请日： | 2013-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN104062854A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 赵娟;方洁;吴立伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备的调平调焦装置，用于使一承片台在垂向沿Z、Rx、Ry方向运动，该调平调焦装置包括设置于该承片台之下的凸轮滚子装置，该凸轮滚子装置包括一凸轮机构和位于该凸轮机构上方的滚子机构，该滚子机构由一电机驱动做旋转运动，该凸轮机构包括一轴承机构，用于使该凸轮机构与该滚子机构线性接触。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 平调 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的调平调焦装置，用于使一承片台在垂向沿Z、Rx、Ry方向运动，其特征在于，所述调平调焦装置包括设置于所述承片台之下的凸轮滚子装置，所述凸轮滚子装置包括一凸轮机构和位于所述凸轮机构上方的滚子机构，所述滚子机构由一电机驱动做旋转运动，所述凸轮机构包括一轴承机构，用于使所述凸轮机构与所述滚子机构线性接触。
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