[发明专利]用于光刻设备的调平调焦装置

权利要求书

1.一种用于光刻设备的调平调焦装置，用于使一承片台在垂向沿Z、Rx、Ry方向运动，其特征在于，所述调平调焦装置包括设置于所述承片台之下的凸轮滚子装置，所述凸轮滚子装置包括一凸轮机构和位于所述凸轮机构上方的滚子机构，所述滚子机构由一电机驱动做旋转运动，所述凸轮机构包括一轴承机构，用于使所述凸轮机构与所述滚子机构线性接触。

2.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述凸轮机构包括凸轮、位于凸轮下方的凸轮座以及位于凸轮座下方的调整垫。

3.如权利要求2所述的调平调焦装置，其特征在于，所述调整垫为楔形调整垫。

4.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述滚子机构从上至下依次包括滚子座、轴承机构、滚子，所述滚子的形状为圆柱形。

5.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述电机为一旋转电机，并通过一联轴器与所述滚子机构的滚子连接。

6.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述调平调焦装置呈三角形分布于所述底板上。

7.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述调平调焦装置与所述承片台之间设有柔性件。

8.如权利要求6所述的调平调焦装置，其特征在于，所述底板与所述承片台通过柔性弹片连接。

9.如权利要求8所述的调平调焦装置，其特征在于，所述柔性弹片的水平向为刚性，垂向为柔性。

10.如权利要求8所述的调平调焦装置，其特征在于，所述柔性弹片由一连接所述承片台的连接件、一连接所述底板的连接件和刚度调节件组成。

11.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述轴承机构为调心轴承，所述调心轴承使所述滚子机构的滚子沿所述凸轮机构的凸轮的轴向摆动角度。

12.如权利要求1所述的调平调焦装置，其特征在于，所述轴承机构为球轴承，所述球轴承通过一柔性件使所述滚子机构的滚子沿所述凸轮机构的凸轮的轴向摆动角度。

13.如权利要求6所述的调平调焦装置，其特征在于，所述底板与所述承片台之间还设有预紧弹簧。