[发明专利]光栅表面缺陷检测装置有效
申请号: | 201310087706.1 | 申请日: | 2013-03-19 |
公开(公告)号: | CN103175847A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 王义文;冯超;廖益龙;权超健;朱鹏;林长友;梅恒;刘勇刚 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨理工大学 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88 |
代理公司: | 哈尔滨东方专利事务所 23118 | 代理人: | 陈晓光 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本发明涉及一种光栅表面缺陷检测装置。目前,企业依靠人工目视检测光栅表面缺陷,自动化程度低,检测精度低,可靠性低,检测效率低,人为主观误差大,检测成本高。一种光栅表面缺陷检测装置,其组成包括:立柱(1),控制模块,所述的立柱连接短臂(2),所述的短臂两侧分别连接有一对粗微调节器,所述的短臂连接长臂(3),所述的长臂通过通孔连接光栅表面图像采集器,工控机(7)输出端连接控制系统(8)输入端,所述的控制系统的信号输出端连接驱动电机(9)和光源(10),驱动电机连接光栅筛选机构(11)、光栅图像二维平移台(12)和光栅清洗机构(13)的输入端,所述的光源置于光栅图像检测台上,光源置于光栅图像检测台上。本发明用于提高光栅表面缺陷检测装置的精度、分辨力、自动化、检测效率。 | ||
搜索关键词: | 光栅 表面 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种光栅表面缺陷检测装置,其组成包括:立柱,控制模块,其特征是:所述的立柱连接短臂,所述的短臂两侧分别连接有一对粗微调节器,所述的短臂连接长臂,所述的长臂通过通孔连接光栅表面图像采集器,工控机输出端连接控制系统输入端,所述的控制系统的信号输出端连接驱动电机和光源,驱动电机连接光栅筛选机构、光栅图像二维平移台和光栅清洗机构的输入端,所述的光源置于光栅图像检测台上。
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