[发明专利]光栅表面缺陷检测装置

权利要求书

1.一种光栅表面缺陷检测装置，其组成包括：立柱，控制模块，其特征是：所述的立柱连接短臂，所述的短臂两侧分别连接有一对粗微调节器，所述的短臂连接长臂，所述的长臂通过通孔连接光栅表面图像采集器，工控机输出端连接控制系统输入端，所述的控制系统的信号输出端连接驱动电机和光源，驱动电机连接光栅筛选机构、光栅图像二维平移台和光栅清洗机构的输入端，所述的光源置于光栅图像检测台上。

2.根据权利要求1 所述的光栅表面缺陷检测装置，其特征是：光栅表面图像采集器包括：显微镜头、CCD摄像机、图像采集卡、所述的投射光源及光源控制器，所述的显微镜头穿过所述的长臂的通孔连接CCD工业摄像机，所述的CCD工业摄像机通过螺栓固定在长臂上，所述的CCD工业摄像机的输出端连接光栅表面图像采集卡的输入端、所述的图像采集卡的输出端连接工控机输入端。

3.根据权利1或2所述的光栅表面缺陷检测装置，其特征是：所述的控制模块具有二维平移台步进电机控制模块、光栅展开机构、步进电机控制模块、清洗机构控制模块和光栅筛选机构控制模块，所述的光栅展开机构具有光栅夹紧机构、机械连接机构和所述的驱动电机，所述的光栅夹紧机构连接驱动电机和机械连接机构，所述的机械连接机构连接二维平移台，所述的二维平移台连接光栅缺陷检测台，所述的光栅缺陷检测台连接立柱，所述的工控机具有数据处理模块。

4.根据权利3所述的光栅表面缺陷检测装置，其特征是：所述的光栅图像二维平移台包括：由步进电机驱动控制的X、Y二维移动位移台，使待检光栅在水平面内沿X、Y移动，准确对准显微物镜，以待光栅表面缺陷图像采集；所述的光栅展开机构包括：光栅夹紧装置和光栅表面展开机构的机械装置，实现光栅的夹紧和光栅表面信息的展开。

5.根据权利3所述的光栅表面缺陷检测装置，其特征是：所述的光栅筛选机构经过数据处理模块将处理结果传输至控制模块，再有控制模块发出指令，控制光栅筛选机构对“合格光栅”和“不合格光栅”进行分类存储；所述的控制模块包括：光源控制模块、二维平移台步进电机控制模块、光栅展开机构步进电机控制模块、清洗机构控制模块和光栅筛选机构控制模块，实现光源控制、待检光栅位置的对准、待检光栅表面信息的展开、光栅表面的清洗和“合格”与“不合格”光栅的筛选。

6.根据权利3所述的光栅表面缺陷检测装置，其特征是：所述的光栅图像检测台包括：支撑底盘和可调立柱，所述的可调立柱支撑和固定其他检测部件，调节CCD摄像机与检测平台的垂直距离；所述的数据处理模块对采集到的光栅表面缺陷图像进行相关图像处理，得到一幅清晰的图像，然后利用相关软件进行检测，最后得到检测结果。