[发明专利]压电装置以及压电装置的制造方法

摘要

本发明提供一种压电装置以及压电装置的制造方法，压电装置具有压电振动片，包含形成激振电极的振动部及引出电极；基础板，在一个主面上载置压电振动片且形成有电性连接于引出电极的连接电极，在另一个主面上形成有安装端子；以及盖板。安装端子的至少一部分包括第1金属膜，通过溅镀或者真空蒸镀而层叠多个金属层；第2金属膜，层叠与第1金属膜同样的多个金属层，且以覆盖第1金属膜的方式形成，或者形成于第1金属膜的表面的一部分上，且第2金属膜的面积不同于第1金属膜；以及无电解镀敷膜，至少在第2金属膜的表面通过无电解镀敷而形成。本发明的压电装置以及压电装置的制造方法，能够防止通过无电解镀敷而形成的电极的剥离。

主权项

一种表面安装型的压电装置，其特征在于，包括：压电振动片，包含振动部及引出电极，所述振动部形成有一对激振电极且以规定的振动频率而振动，所述引出电极是从所述一对激振电极引出；基础板，在一方的主面载置所述压电振动片且形成有电性连接于所述引出电极的连接电极，在另一方的主面上形成有安装端子；以及盖板，密封所述振动部，所述安装端子的至少一部分包括：第1金属膜，通过溅镀或者真空蒸镀而层叠多个金属层；第2金属膜，层叠多个金属层，且以覆盖所述第1金属膜的方式形成，或者形成于所述第1金属膜的表面的一部分上，且所述第2金属膜的面积不同于所述第1金属膜；以及无电解镀敷膜，至少在所述第2金属膜的表面、通过无电解镀敷而形成；所述第1金属膜及所述第2金属膜包含：铬层；形成于所述铬层表面的镍钨层；及形成于所述镍钨层表面的金层，或者，所述第1金属膜及所述第2金属膜包含：铬层；形成于所述铬层表面的铂层；及形成于所述铂层表面的金层。