[发明专利]一种偏振拼接照明系统有效
申请号: | 201310075451.7 | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN104049465A | 公开(公告)日: | 2014-09-17 |
发明(设计)人: | 曹昌智 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B27/28;G02B27/09 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种偏振拼接照明系统,用于光刻设备投影物镜,沿光传播方向依序包括:光源,提供一定波长和强度的紫外光束;耦合透镜组,将所述光源提供的紫外光束形成平行光;分光组件,将所述平行光均匀分成能量相同,偏振态互相垂直的第一光束及第二光束;旋光组件,控制所述第一、第二光束的偏振角度;反射镜,将经由所述旋光组件的第一、第二光束反射进入匀光组件,并且可以根据所述第一、第二光束的能量差异对第一和/或第二光束进行补偿;匀光组件,将所述第一、第二光束进行匀光并输出给中继透镜;以及中继透镜,所述第一、第二光束经由所述中继透镜处理后形成一定视场,一定数值孔径的照明光进入所述投影物镜。本发明可以提供大数值孔径,大视场的可变偏振照明,且照明均匀性好。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏振 拼接 照明 系统 | ||
【主权项】:
一种偏振拼接照明系统,用于光刻设备投影物镜,其特征在于沿光传播方向依序包括:光源,提供一定波长和强度的紫外光束;耦合透镜组,将所述光源提供的紫外光束形成平行光;分光组件,将所述平行光均匀分成能量相同,偏振态互相垂直的第一光束及第二光束;旋光组件,控制所述第一、第二光束的偏振角度;反射镜,将经由所述旋光组件的第一、第二光束反射进入匀光组件,并且可以根据所述第一、第二光束的能量差异对第一和/或第二光束进行补偿;匀光组件,将所述第一、第二光束进行匀光并输出给中继透镜;以及中继透镜,所述第一、第二光束经由所述中继透镜处理后形成一定视场,一定数值孔径的照明光进入所述投影物镜。
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