[发明专利]一种偏振拼接照明系统

权利要求书

1. 一种偏振拼接照明系统，用于光刻设备投影物镜，其特征在于沿光传播方向依序包括：

光源，提供一定波长和强度的紫外光束；

耦合透镜组，将所述光源提供的紫外光束形成平行光；

分光组件，将所述平行光均匀分成能量相同，偏振态互相垂直的第一光束及第二光束；

旋光组件，控制所述第一、第二光束的偏振角度；

反射镜，将经由所述旋光组件的第一、第二光束反射进入匀光组件，并且可以根据所述第一、第二光束的能量差异对第一和/或第二光束进行补偿；

匀光组件，将所述第一、第二光束进行匀光并输出给中继透镜；以及

中继透镜，所述第一、第二光束经由所述中继透镜处理后形成一定视场，一定数值孔径的照明光进入所述投影物镜。

2. 如权利要求1所述的偏振拼接照明系统，其特征在于：所述分光组件为渥拉斯顿棱镜或格兰-汤姆逊棱镜。

3. 如权利要求1所述的偏振拼接照明系统，其特征在于：所述旋光组件为法拉第旋光盒。