[发明专利]镀外缘全封闭带的镀膜工装

摘要

本发明涉及一种镀外缘全封闭带的镀膜工装，主要适用于磁控溅射镀膜设备技术领域。本发明包括主干框架，主干框架上设置至少一个架设基片的架设单元，架设单元包括遮挡片、遮挡片固定梁和被镀膜片支撑固定架，遮挡片固定梁的两端固定在主干框架上，遮挡片通过所述固定孔与遮挡片固定梁固定，被镀膜片支撑固定架位于主干框架的非镀膜面的同一侧，被镀膜片支撑固定架的一端通过转轴与主干框架活动连接，遮挡片的边缘与所述架设单元的边缘之间有一圈间隙。本发明结构设计合理，使用方便，可实现镀外缘全封闭带，镀膜精确度高，成膜位置准确，边缘清晰无阴影，可镀任意形状的外缘全封闭的镀膜带，成本较低。

主权项

一种镀外缘全封闭带的镀膜工装，包括主干框架，主干框架上设置至少一个架设基片的架设单元，其特征在于：所述架设单元包括遮挡片、遮挡片固定梁和被镀膜片支撑固定架，所述遮挡片固定梁的两端固定在主干框架上，该遮挡片固定梁位于主干框架的镀膜面，所述遮挡片上设置有固定孔，遮挡片通过所述固定孔与遮挡片固定梁固定，遮挡片与主干框架平行，所述被镀膜片支撑固定架位于主干框架的非镀膜面的同一侧，该被镀膜片支撑固定架的一端通过转轴与主干框架活动连接，所述主干框架上设有卡座，被镀膜片支撑固定架的另一端与卡座相配合，所述被镀膜片支撑固定架位于架设单元的上方，所述遮挡片的边缘与所述架设单元的边缘之间有一圈间隙。