[发明专利]一种薄膜电容器的制造方法有效

专利信息
申请号: 201310065920.7 申请日: 2013-03-01
公开(公告)号: CN103165285A 公开(公告)日: 2013-06-19
发明(设计)人: 钱时昌 申请(专利权)人: 溧阳华晶电子材料有限公司
主分类号: H01G4/33 分类号: H01G4/33
代理公司: 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 代理人: 蒋家华
地址: 213300 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种薄膜电容器,其具有三层结构,自下往上分别为镍基板、电介质层和电极层。
搜索关键词: 一种 薄膜 电容器 制造 方法
【主权项】:
一种薄膜电容器的制造方法,该方法依次包括如下步骤: (1)准备如下配比的原料:大于或等于99.98重量%的镍锭、0.001‑0.002重量%的铜、0.0005‑0.0008重量%的锰,0.005‑0.008重量%的铝、0.0005‑0.001重量%的铬,0.004‑0.006重量%的铁、0.0005‑0.0012重量%的硅以及0.001‑0.002重量%的锑以及0.001‑0.002重量%的钽; (2)将上述原料熔融后,将其轧制成箔片,然后对该箔片进行退火,从而制成镍基板; (3)按照四方相锆钛酸铅PbZr1‑xTixO3的摩尔比例进行配置将氧化铅PbO、二氧化锆ZrO2和二氧化钛TiO2粉末进行煅烧,从而烧结成PZT靶材,其中x取值是:0
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