[发明专利]接触时间长的微机电万向惯性开关及其制造方法

摘要

本发明提供一种接触时间长的微机电万向惯性开关及其制造方法，所要解决的问题是：目前的MEMS惯性开关只能捕捉单方向的惯性加速度；其次开关的可动电极和固定式电极的接触时间太短。本发明的要点是：硅片中间结构层以锚点为圆心向外是环形质量框、环形外电极和锚区，锚区和锚点和下盖板键合，四个外弹簧呈十字形布置，每个外弹簧的两端分别固定在锚区和环形外电极之间，四个内弹簧呈十字形布置，每个内弹簧的两端分别固定在环形质量框和锚点上。本发明的积极效果是：可以捕捉任一方向的惯性加速度；捕捉到阈值加速度后，大大延长了两个电极接触时间。

主权项

一种接触时间长的微机电万向惯性开关，它包括上、下盖板和硅片中间结构层，其特征是：所说的上盖板是硅质板；硅片中间结构层是，以锚点为圆心向外依次是环形质量框、环形外电极和锚区，锚区呈外方内圆的平面框架形，其中锚区和锚点和上、下盖板键合，四个外弹簧呈十字形布置，每个外弹簧的两端分别固定在锚区和环形外电极之间，四个内弹簧呈十字形布置，每个内弹簧的两端分别固定在环形质量框和锚点上。