[发明专利]描画方法和制造物品的方法有效
| 申请号： | 201310031183.9 | 申请日： | 2013-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN103226292A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 辻田好一郎;村木真人 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杨小明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种描画方法和制造物品的方法。带电粒子束描画设备在多个第一线状图案上描画多个切割图案，所述多个第一线状图案被布置成沿着第一方向延伸，并且所述多个第一线状图案在垂直于第一方向的第二方向按预先确定的节距P对准。描画所述多个切割图案，以致在第二方向彼此相邻的每对切割图案的中心之间在第二方向的间隔Ai(i是指定切割图案对的编号)满足以下关系：Ai=m1X(m1=1,2,3,...)，其中X是通过节距P定义的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 描画 方法 制造 物品 | ||
【主权项】：
一种利用带电粒子束描画设备在多个第一线状图案上描画多个切割图案的方法，所述多个第一线状图案被布置成沿着第一方向延伸，并且所述多个第一线状图案在垂直于第一方向的第二方向按预先确定的节距P对准，其中，所述多个切割图案被描画为使得：在第二方向彼此相邻的每对切割图案的中心之间在第二方向的间隔Ai满足以下关系，其中i是指定切割图案对的编号：Ai=m1X，其中m1=1,2,3,...其中X是通过节距P定义的尺寸。
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