[发明专利]一种用于检测石英舟变形的检测装置

摘要

本发明提供一种用于检测石英舟变形的检测装置，该检测装置包含竖直设置在工作台上的传送轴，其能够沿着工作台的侧壁上下移动；设置在所述传送轴与石英舟之间的至少一根指针，所述指针的一端固定设置在传送轴上，另一端与石英舟上的其中一根立柱相接触；以及设置在所述指针上的表盘。本发明能够极其快速方便精确的检测出石英舟是否因高温而发生膨胀变形，有效降低了因此而导致的硅片在传送过程中因碰撞、掉落而碎裂损坏的情况发生，提高生产效率和质量。

主权项

一种用于检测石英舟变形的检测装置，其特征在于，该检测装置包含：竖直设置在工作台（1）上的传送轴（3），其能够沿着工作台（1）的侧壁上下移动；设置在所述传送轴（3）与石英舟（2）之间的两根指针（4），且两根指针（4）呈角度设置，每根指针（4）的一端固定设置在传送轴（3）上，每根指针（4）的另一端分别与石英舟（2）上的其中一根立柱（22）相接触；设置在所述指针（4）上的表盘（5）。