[发明专利]一种用于检测石英舟变形的检测装置

说明书

技术领域

本发明应用于大气压炉等半导体处理设备，涉及一种用于检测石英舟是否变形的检测装置。

背景技术

在半导体制造中，石英舟（quartz boat）是用来将多个硅片有间隔地固定放置在大气压炉（AP FNC，atmosphere pressure furnace）等处理设备内的一种装置。

如图1所示是现有技术中大气压炉内所使用的石英舟的结构示意图，所述石英舟2竖直设置在大气压炉内的工作台（Bench）1上。该石英舟2包含若干立柱22，分别间隔设置在石英舟2的外壁四周。在该石英舟2的内侧表面、且沿石英舟2的垂直方向上间隔的开设有多个卡槽21。每个卡槽21均水平开设在石英舟2上，因此多个卡槽21彼此平行。通过传输机械手等装置将硅片水平地送入大气压炉后，各个硅片的边缘能够对应卡到不同高度的各个卡槽21中，在进行处理时能够避免相邻硅片之间相互粘连。

然而，通常在大气压炉内是以850℃～1050℃的高温，对硅片进行扩散或氧化等处理。因此，由于长时间处在炉内的高温环境下，石英舟2在使用了一段时间后容易发生变形，尤其会因为石英舟2的膨胀而导致各个卡槽21的间隙缩小变形，使得各个卡槽21之间不再平行设置。在这种情况下，如果还按照原先设定的参数推送硅片时，硅片边缘极有可能会因没有接触到卡槽而发生掉落，或者可能会因为碰撞到石英舟2的膨胀部分而发生碎裂，从而造成硅片或石英舟等损坏的问题发生。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于检测石英舟变形的检测装置，能够极其快速方便精确的检测出石英舟是否因高温而发生膨胀变形，有效降低了因此而导致的硅片在传送过程中因碰撞、掉落而碎裂损坏的情况发生，提高生产效率和质量。

为了达到上述目的，本发明提供一种用于检测石英舟变形的检测装置，其安装在大气压炉内的工作台上，该检测装置包含：竖直设置在工作台上的传送轴，其能够沿着工作台的侧壁上下移动；设置在所述传送轴与石英舟之间的至少一根指针，所述指针的一端固定设置在传送轴上，另一端与石英舟上的其中一根立柱相接触；以及设置在所述指针上的表盘。

在本发明的一个优选实施例中，所述检测装置包含两根呈角度设置的指针，每根指针的其中一端固定设置在传送轴上，每根指针的另一端则分别与石英舟上的其中两根立柱相接触。

本发明所提供的用于检测石英舟变形的检测装置，能够极其快速方便精确的检测出石英舟是否因高温而发生膨胀变形，有效降低了因此而导致的硅片在传送过程中因碰撞、掉落而碎裂损坏的情况发生，提高生产效率和质量。

附图说明

图1为现有技术中的石英舟的结构示意图；

图2为本发明中提供的用于检测石英舟变形的检测装置；

图3为图2的侧面视图。

具体实施方式

以下结合图2和图3，通过优选的具体实施例，详细说明本发明。

如图2和图3所示，本发明所提供的用于检测石英舟变形的检测装置安装在大气压炉内的工作台1上，该检测装置包含：竖直设置在工作台1上的传送轴3，其能够沿着工作台1的侧壁上下移动；设置在所述传送轴3与石英舟2之间的至少一根指针4，所述指针4的一端固定设置在传送轴3上，另一端与石英舟2上的其中一根立柱22相接触；以及设置在所述指针4上的表盘5。

如图3所示，在本实施例中，所述检测装置包含两根呈角度设置的指针4，每根指针4的其中一端固定设置在传送轴3上，每根指针4的另一端则分别与石英舟2上的其中两根立柱22相接触。

在每次启动大气压炉，需要向其内部传送硅片时，可先使用本发明提供的检测装置对石英舟2进行变形检测。具体检测过程为：沿工作台1的侧壁上下移动传送轴3，其带动指针4同步上下移动，当指针4的端部沿着立柱22依次经过石英舟2上的多个卡槽21时，每经过一个卡槽21，表盘5会产生一个读数。若石英舟2没有发生变形，则各个卡槽21的间隙读数应该相同，此时表明各个卡槽21之间是平行的，那么此时可以按照正常情况进行后续硅片传送并进行处理。而当实际检测过程中发现各卡槽21的读数存在差异，则表明石英舟2的某些部位发生了膨胀变形，导致卡槽21间的间隙缩小，彼此间已经不再平行，在后续传送硅片时应该注意调整参数。

进一步，在本实施例中，由于在石英舟2的立柱22的两侧均设置了检测用的指针4，因此能够更全方位的检测石英舟2的变形问题。