[发明专利]一种掩膜版清洗后的干燥方法无效
| 申请号： | 201310011961.8 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103017483A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 张东玲 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/00 | 分类号： | F26B5/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜版清洗后的干燥方法。其特点是，包括如下步骤：将洗净的掩膜版(1)固定在夹具(2)上并且全部浸入纯水中，该夹具(2)与慢速运动装置(4)连接从而能将该夹具(2)和掩膜版(1)平稳的慢速提升以脱离水面(3)，控制提升的速度在10～70mm/min匀速进行提升直至掩膜版(1)完全脱离纯水水面(3)即可。采用本发明的方法后，不用吹风(或酒精等挥发性溶剂)，利用现有漂洗用的充分洁净的纯水，当掩膜版从纯水漂洗槽出来后即可保证表面干燥，从而避免了后续干燥过程对掩膜版的二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 清洗 干燥 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜版清洗后的干燥方法，其特征在于，包括如下步骤：将洗净的掩膜版(1)固定在夹具(2)上并且全部浸入纯水中，该夹具(2)与慢速运动装置(4)连接从而能将该夹具(2)和掩膜版(1)平稳的慢速提升以脱离水面(3)，控制提升的速度在10～70mm/min匀速进行提升直至掩膜版(1)完全脱离纯水水面(3)即可。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于彩虹（佛山）平板显示有限公司，未经彩虹（佛山）平板显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310011961.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：液体微胶囊破胶剂的释放率测定方法
- 下一篇：导航装置及导航系统
