[发明专利]气体净化装置无效
| 申请号: | 201310008642.1 | 申请日: | 2013-01-10 |
| 公开(公告)号: | CN103706192A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
| 发明(设计)人: | 秋渊雄;伊藤孝宏;白根智博 | 申请(专利权)人: | 修谷鲁电子机器股份有限公司 |
| 主分类号: | B01D46/00 | 分类号: | B01D46/00;B01D46/42 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 一种气体净化装置,具有密闭送风源(100),该密闭送风源(100)具有:从外部提供通过过滤器净化后的惰性气体的密闭箱(101)、收纳于该密闭箱(101)中用于向密闭箱(101)的内部空间释放气体的送风机(102)、冷却密闭箱(101)的内部空间的冷却管(103)、用来收集通过送风机(102)向密闭箱(101)的内部空间所释放的气体并向外部提供的开放收集部(106)。在该密闭送风机(100)的上游侧配置预滤器(201),而在下游侧依次配置热交换器(300)及HEPA过滤器(202),由此防止异物混入及空气侵入,并且对惰性气体进行净化和冷却。 | ||
| 搜索关键词: | 气体 净化 装置 | ||
【主权项】:
一种气体净化装置,其特征在于,具有密闭送风源,该密闭送风源具有:从外部提供通过过滤器净化后的气体的密闭箱、收纳于该密闭箱且向所述密闭箱的内部空间释放所述气体的送风机、冷却所述内部空间的冷却装置、用来收集通过所述送风机向所述内部空间释放的气体并向外部提供的开放收集部。
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