[发明专利]气体净化装置

说明书

技术领域

本发明涉及例如在有机EL（光致发电）显示器等的制造工序中所使用的适合的气体净化装置。

背景技术

有机EL元件是通过电压诱发存在于两个电极之间的有机材料，并利用其恢复原状时发光的现象的自然发光式元件。有机EL显示器是将RGB各发光层的多个有机EL元件配置为矩阵状而构成的。

该有机EL显示器具有功耗低、发热少、厚度薄、重量轻的特性。而且，在有机EL显示器的画质方面具有颜色再现性良好、对比度高、动画响应性高、峰值精度高且不依赖于视角等优异的特性。

有机EL显示器的有机材料具有遇水气或氧气容易劣化的特性。于是，在制造有机EL显示器时，在真空下或着在氮气或氩气等惰性气体环境下，通过真空蒸镀，在基板上使RGB各发光层等的金属电极材料成膜，接着在与空气隔离的状态下进行玻璃的接合和密封。

然而，在惰性气体环境下制造有机EL显示器的情况下，有时用盖体覆盖纵长的整个生产线，并向该盖体内部充填惰性气体。但是，有时惰性气体会被在制造过程中所产生的尘埃或微小物片（以下简称为异物）污染，所以一般情况下利用气体净化装置对所述盖体内的惰性气体进行净化，从而除去异物。

在此，作为有关有机EL显示器制造的现有技术，例如已知专利文献1，2所述的装置。

在专利文献1，2所述的装置中，都在密闭的容器中收纳电动送风机。其中，在专利文献1中采用了使气体与冷却板接触来进行热交换，并通过与该冷却板相连的水冷管进行排热的结构，而在专利文献2中，利用电动送风机所产生的风来冷却送风机的马达，由此自行进行冷却。

专利文献1：（日本）特开2007-198364号公报（图1~图3等）

专利文献2：（日本）特开2008-128224号公报（图1~图4等）

在专利文献1的图1和图2所述的装置及专利文献2的图1、图2和图4所述的装置中，因为将惰性气体与马达接触来冷却马达，所以惰性气体中可能会混入异物。

而且，如果送风机构不是气密结构，则除了异物外可能从送风机构的周围混入空气，一旦混入空气，则有机材料与水气或氧气接触而导致劣化，产生不能发光的称之为暗斑的缺陷部位，从而存在产品的成品率恶化等问题。

发明内容

本发明是为解决上述问题而提出的，目的在于提供防止异物混入及空气侵入，并且能够净化气体的气体净化装置。

为了解决上述问题，第一方面的气体净化装置的特征在于，具有密闭送风源，该密闭送风源具有：从外部提供通过过滤器净化后的气体的密闭箱、收纳于该密闭箱且向所述密闭箱的内部空间释放所述气体的送风机、冷却所述内部空间的冷却装置、用来收集通过所述送风机向所述内部空间释放的气体并向外部提供的开放收集部。

第二方面的气体净化装置的特征在于，具有：使从外部提供的气体通过的预滤器、被提供通过了该预滤器的气体的第一方面所述的密闭送风源、对从该密闭送风源排出的气体进行冷却的热交换器、使被该热交换器冷却的气体通过的HEPA过滤器。

第三方面的气体净化装置在第二方面的气体净化装置的基础上，优选将所述预滤器、所述密闭送风源、所述热交换器及所述HEPA过滤器收纳在单一的箱体内。

第四方面的气体净化装置的特征在于，具有：使从外部提供的气体通过的预滤器、被提供通过了该预滤器的气体的第一方面所述的密闭送风源、使从该密闭送风源排出的气体通过的HEPA过滤器。

第五方面的气体净化装置在第四方面的气体净化装置的基础上，优选将所述预滤器、所述密闭送风源及所述HEPA过滤器收纳在单一的箱体内。

第六方面的气体净化装置在第四方面的气体净化装置的基础上，优选将收纳有所述预滤器及所述HEPA过滤器的过滤器单元和所述密闭送风源形成为经由气体流路能够连接或分离。

根据本发明，能够提供在回收的气体中不会混入异物，也不会侵入空气，并且气体经过冷却及净化后再向外部提供的气体净化装置。

附图说明

图1是本发明的气体净化装置所使用的密闭送风源的结构图；

图2是本发明第一实施例的气体净化装置的结构图；

图3是本发明第二实施例的气体净化装置的结构图；

图4是本发明第三实施例的气体净化装置的结构图；

图5是本发明第四实施例的气体净化装置的结构图。

附图标记说明

100  密闭送风源；

101  密闭箱；

102  送风机；

102a  气体释放部；

103  冷却管；