[发明专利]可切换滤波器和设计结构有效
| 申请号： | 201310001517.8 | 申请日： | 2013-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN103187947A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | J·W·阿基森;P·坎德拉;T·J·邓巴;J·P·甘比诺;M·D·贾菲;A·K·斯塔珀;R·L·沃尔夫 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H3/08;B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 于静;张亚非 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了可切换和/或可调谐的滤波器、制造方法和设计结构。形成滤波器的方法包括形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极。该方法还包括形成微机电结构（MEMS），所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁：在该位置中，所述MEMS梁在致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。 | ||
| 搜索关键词： | 切换 滤波器 设计 结构 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：形成至少一个压电滤波器结构，所述至少一个压电滤波器结构包括在压电基底上形成的多个电极；以及形成微机电结构（MEMS），所述MEMS包括在所述压电基底上方且在如下位置处形成的MEMS梁：在该位置中，所述MEMS梁在被致动时通过接触所述多个电极中的至少一个来短接所述压电滤波器结构。
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