[发明专利]磁头驱动臂及其制造方法以及表面处理方法

摘要

本发明提供从铝合金制的磁头驱动臂的表面脱落的氧化物粒子极少的磁头驱动臂及其制造方法。在铝合金制的磁头驱动臂1的表面S不存在氧化物粒子30形成的突起，利用由其氧化物粒子30被去除后的痕迹构成的凹坑40的平均直径D为1μm以上且5μm以下的磁头驱动臂解决了上述问题。这时，优选凹坑40中平均直径的1/2倍～2倍的凹坑40在纵横20μm的测定区域以10个以上且100个以下的范围存在，磁头驱动臂1的表面S的反射率在波长500nm～600nm的范围为10％以上且40％以下。这种磁头驱动臂1可以在化学抛光后与含有氟化物离子的溶液接触而制造。

主权项

一种磁头驱动臂的制造方法，其包括：形状决定工序，其对铝合金制的磁头驱动臂进行化学抛光并决定该磁头驱动臂的形状；以及氧化物粒子溶解工序，其在所述形状决定工序后使所述磁头驱动臂和含有氟化物离子的酸性水溶液接触，并选择性地溶解露出于该磁头驱动臂表面的氧化物粒子，其中，所述氧化物粒子溶解工序使所述磁头驱动臂的表面不存在所述氧化物粒子形成的突起，并形成由该氧化物粒子被去除后的痕迹形成的凹坑，所述氧化物粒子溶解工序在所述氟化物离子的浓度为0.8mol/L以上1.6mol/L以下、液温为15℃～25℃的所述酸性水溶液中进行，所述酸性水溶液是2mol/L以上8mol/L以下的硝酸水溶液，或者是含有1mol/L以上8mol/L以下的硝酸和6mol/L以上9mol/L以下的磷酸的硝酸和磷酸的混合水溶液。