[发明专利]位置检测装置和位置控制装置

摘要

同时校正基于温度变化和磁通的非线性的检测误差。本发明的位置检测装置的特征在于，其具有基台部；可动部，其能够相对于基台部进行相对移动；位置检测部，其根据磁通的变化来检测可动部相对于基台部的位置，输出位置信息；温度检测部，其检测周围温度；以及位置校正部，其根据位置信息与规定值的差分以及周围温度计算校正值，根据计算出的校正值对位置信息进行校正。

主权项

一种位置检测装置，其特征在于，该位置检测装置具有：基台部；可动部，其能够相对于所述基台部进行相对移动；位置检测部，其与所述可动部连接，根据所输入的磁通的变化来检测所述可动部相对于所述基台部的水平方向或者垂直方向的位置，输出第1位置信息；以及温度检测部，其检测周围温度，其特征在于，所述位置检测装置还具有：位置校正部，其在所述可动部在水平以及垂直方向进行相对移动的位置范围内根据所述第1位置信息与规定值的差分以及所述周围温度与基准温度的差分，基于下述式(1)针对所述第1位置信息进行校正运算，输出第2位置信息；以及直线性校正部，其针对所述第2位置信息，进一步进行位置检测部的非直线特性的校正，输出第3位置信息，所述位置检测部在所述可动部相对于所述基台部在水平以及垂直方向进行相对移动的范围内，包含所述磁通的变化相对于所述相对移动的移动量的变化呈非线性变化的位置区域在内而检测第1位置信息，Y＝X‑A*(X‑B)*(T‑C)   …(1)其中，X为位置检测部输出的第1位置信息，A为基于温度特性的系数，B为基于位置检测部的基准电压的值，C为基于基准温度的值，T为周围温度，Y为校正后输出的第2位置信息。