[发明专利]用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置有效
| 申请号： | 201280062842.9 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104094377A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | H.莫格纳;G.马陶施;C.梅茨纳;M.容黑内尔;R.拉比茨克;L.克洛泽;T.维尔纳;J.库布斯 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍弗实用研究促进协会 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 卢江;刘春元 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 产生 空心 阴极 电弧 放电 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于所述空心阴极（13；14）的电极（15；16），所述电极具有穿过所述电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压，其特征在于，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。
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