[发明专利]用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置

权利要求书

1.用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于所述空心阴极（13；14）的电极（15；16），所述电极具有穿过所述电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压，其特征在于，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电极（15；16）被布置在所属的空心阴极（13；14）的出口之前。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述空心阴极（23；24）的管穿过所属的电极（25；26）的开口伸出。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述空心阴极（23；24）具有与所述电极（25；26）的机械接触。

5.根据上述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述电极（15；16）环状地被构造。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述空心阴极（13；14）和环状的电极（15；16）的延长的轴线是相同的。

7.根据上述权利要求之一所述的装置，其特征在于，每个等离子体源具有单独的电磁线圈（46），所述电磁线圈包围所述空心阴极（43）和所属的电极（44）。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述电磁线圈（46）环状地被构造。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，环状的电磁线圈（46）和所述空心阴极（43）的管的延长的轴线是相同的。

10.根据上述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述双极中频脉冲电压具有1Hz到1MHz的范围内的频率。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述双极中频脉冲电压具有1kHz到100kHz的范围内的频率。

12.根据上述权利要求之一所述的装置，其特征在于，所述限制电流方向的元件是二极管。