[发明专利]具有杂质过滤器的温度系统无效
| 申请号： | 201280062428.8 | 申请日： | 2012-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN104114973A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | B·N·沃德;N·W·埃尔斯德费尔 | 申请（专利权）人： | 天普桑尼克公司 |
| 主分类号： | F28F19/01 | 分类号： | F28F19/01;F25B43/00;H01L23/34;F25B19/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 金迪;李婉婉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于控制测试中的装置的温度的温度控制系统，其包括流体源和降低由流体源供应的流体的温度的冷却装置，以及输出具有降低的温度的流体至测试中的装置。过滤器设置于测试中的装置和冷却装置之间以滤出导致显著的电荷生成的冰颗粒，从而防止测试中的装置经受作为静电荷生成的结果的高电压。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 杂质 过滤器 温度 系统 | ||
【主权项】：
用于提供冷却流体的温度系统，该温度系统包括：流体源；冷却装置，所述冷却装置用于使由所述流体源提供的冷却流体变冷以生成变冷的流体并且输出该变冷的冷却流体；以及过滤器，所述过滤器接收来自所述冷却装置的变冷的冷却流体，所述过滤器具有捕捉变冷的冷却流体中的冰颗粒的尺寸的过滤器网。
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