[发明专利]具有杂质过滤器的温度系统

权利要求书

1.用于提供冷却流体的温度系统，该温度系统包括：

流体源；

冷却装置，所述冷却装置用于使由所述流体源提供的冷却流体变冷以生成变冷的流体并且输出该变冷的冷却流体；以及

过滤器，所述过滤器接收来自所述冷却装置的变冷的冷却流体，所述过滤器具有捕捉变冷的冷却流体中的冰颗粒的尺寸的过滤器网。

2.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有大于或等于2μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

3.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于10μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

4.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于100μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

5.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述冷却流体包括气体。

6.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述冷却流体包括液体。

7.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述过滤器网包括不锈钢。

8.根据权利要求1所述的温度系统，其中，所述过滤器网为荷兰编织结构。

9.用于提供温度控制的流体的温度控制系统，该温度控制系统包括：

流体源；

流体变冷器，所述流体变冷器从所述流体源接收流体，使所述流体变冷以生成温度控制的流体并且输出所述温度控制的流体；以及

过滤器，所述过滤器接收所述温度控制的流体，所述过滤器具有捕捉所述温度控制的流体中的冰颗粒的尺寸的过滤器网。

10.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有大于或等于2μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

11.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于10μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

12.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于100μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

13.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述温度控制的流体包括气体。

14.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述温度控制的流体包括液体。

15.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网包括不锈钢。

16.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网为荷兰编织结构。

17.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述温度控制系统还包括用于加热所述温度控制的流体的加热器。

18.根据权利要求17所述的温度控制系统，其中，所述加热器接收来自所述过滤器的所述温度控制的流体。

19.根据权利要求18所述的温度控制系统，其中，所述温度控制的流体被引至测试中的装置(DUT)上以控制DUT中的温度。

20.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，所述温度控制的流体被引至测试中的装置(DUT)上以控制DUT中的温度。

21.用于卡盘的温度控制系统，所述温度控制系统包括：

循环流体变冷器，所述循环流体变冷器用于生成变冷的流体，该循环流体变冷器包括：

泵，所述泵用于通过所述系统和所述卡盘循环流体，以及

热交换器，所述热交换器使所述流体变冷以生成所述变冷的流体并且输出所述变冷的流体至所述卡盘；以及

过滤器，所述过滤器位于所述热交换器和所述卡盘之间，所述过滤器具有捕捉所述变冷的流体中的冰颗粒的尺寸的过滤器网。

22.根据权利要求21所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有大于或等于2μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

23.根据权利要求21所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于10μm尺寸的冰颗粒的尺寸。

24.根据权利要求21所述的温度控制系统，其中，所述过滤器网设置为捕捉具有小于100μm尺寸的冰颗粒的尺寸。