[发明专利]B2F4制造方法

摘要

提供一种用于由固体反应物材料制备化合物或中间体的反应系统和方法。在一个特定方面中，提供用于制备用作用于基板中硼的离子注入的前体的含硼前体化合物的反应系统和方法。在另一个特定方面中，提供用于制造硼前体，如B2F4的反应器系统和方法。

主权项

一种反应器系统，包括：反应区，用于在有效形成中间物质的温度和压力条件下使BF3气体与含硼固体接触；开口，用于允许BF3气体的未反应部分和所述中间物质离开所述反应区进入冷凝区，所述冷凝区用于实现所述中间物质和所述BF3气体的所述未反应部分之间的反应，以形成包含B2F4的反应产物；回收区，用于回收(1)包含B2F4的所述反应产物和(2)气体产物，其包含未反应的BF3气体以及和所述未反应的BF3气体一起回收的杂质；以及再循环区，用于将来自所述气体产物的所述未反应的BF3气体再循环到所述反应区，其中，所述再循环区包括有效减少所述气体产物中的所述杂质的纯化区。