[发明专利]固态成像装置、制造固态成像装置的方法和电子设备

摘要

本技术涉及一种固态成像装置、固态成像装置制造方法和电子设备，能够提供可以防止由于放大晶体管的小型化而产生RTS噪声并因此可以实现小型化和高集成化的固态成像装置。固态成像装置(1-1)包括：作为光电转换部的光电二极管(PD)；从所述光电二极管(PD)读出电荷的传输栅极(TG)；通过所述传输栅极(TG)的操作读出所述光电二极管(PD)的电荷的浮动扩散部(FD)；和与所述浮动扩散部(FD)连接的放大晶体管(Tr3)。更具体地，所述放大晶体管(Tr3)是全耗尽型的。这种放大晶体管包括在垂直于例如通过处理半导体层(11)的表面层形成的凸条(33)的方向上延伸的放大器栅极(AG)(栅电极)。

主权项

一种固态成像装置，包括：光电转换部；从所述光电转换部读出电荷的传输栅极；浮动扩散部，通过所述传输栅极的操作从其读出所述光电转换部的电荷；和与所述浮动扩散部连接的全耗尽型的放大晶体管。