[发明专利]用于接触半导体的方法和用于半导体的接触组件有效
| 申请号: | 201280057174.0 | 申请日: | 2012-11-20 |
| 公开(公告)号: | CN103959449B | 公开(公告)日: | 2017-06-30 |
| 发明(设计)人: | E·聚斯克;E·盖尼兹;G·布劳恩 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/48;H01L23/495 |
| 代理公司: | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人: | 苏娟,马飞 |
| 地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于接触半导体(10)的方法以及一种用于半导体(10)的接触组件(1),其中,所述半导体(10)在至少一个第一面处通过形成具有预定厚度的第一焊接层(30)与第一接触副(20)面式地相连接。根据本发明,在所述半导体(10)上施加聚酰亚胺层(14)作为限制介质,其预定了所述半导体(10)的至少一个焊接面(12)的尺寸和/或形状。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 接触 半导体 方法 组件 | ||
【主权项】:
一种用于接触半导体的方法,其中,所述半导体(10、10'、10)在至少一个第一面处通过形成具有预定厚度(LD)的第一焊接层(30、32'、34'、36'、30、80)与至少一个第一接触副(20、20'、20、60)面式地相连接,其特征在于,在所述半导体(10、10'、10)上施加耐焊接的层(14、14'、14、18')作为限制介质,所述耐焊接的层预定了所述半导体(10、10'、10)的至少一个焊接面(12、12'、12)的尺寸和/或形状,其中,所述至少一个焊接面在边缘被所述耐焊接的层完全地包围,使得在第一接触副的接触面与半导体的被包围边缘的焊接面的形状和大小匹配时,通过来自边缘包围的附着力在任意方向上都防止了半导体的漂移和旋转,其中,在所述至少一个第一接触副(20、20'、20、60)的至少一个接触面(20.2、22.2'、24.2'、26.2'、20.2)和所述耐焊接的层(14、14'、14、18')的边缘之间的侧向距离(A)根据所述焊接层(30、32'、34'、36'、30、80)的厚度(LD)进行选择。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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