[发明专利]具有环形塌陷区域的预塌陷电容式微机械换能器元件有效
| 申请号： | 201280056554.2 | 申请日： | 2012-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN103958079A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | A·L·鲁滨逊;J·D·弗雷泽 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 韩宏;陈松涛 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括衬底(12)和薄膜(14)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，其中所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所在的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，其中在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，所述薄膜(14)被塌陷到所述衬底(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 环形 塌陷 区域 电容 式微 机械 换能器 元件 | ||
【主权项】：
一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括：‑衬底(12)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，‑薄膜(14)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，其中，所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所处的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，其中，在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，使所述薄膜(14)塌陷到所述衬底(12)。
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