[发明专利]具有环形塌陷区域的预塌陷电容式微机械换能器元件

权利要求书

1.一种预塌陷电容式微机械换能器单元(10)，包括：

-衬底(12)，所述衬底(12)包括第一电极(16)，

-薄膜(14)，所述薄膜(14)包括第二电极(18)，

其中，所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所处的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(20)，

其中，在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，使所述薄膜(14)塌陷到所述衬底(12)。

2.如权利要求1所述的单元，其中，所述第二电极(18)位于所述环形第一塌陷区域(24)内的或被所述环形第一塌陷区域(24)包围的第一换能区域(26)中。

3.如权利要求1所述的单元，其中，所述第二电极(18)位于所述环形第一塌陷区域(24)外的或包围所述环形第一塌陷区域(24)的第二换能区域(27)中。

4.如权利要求2或3所述的单元，其中，所述第二电极(18)至少设置成紧靠所述环形第一塌陷区域(24)。

5.如权利要求1所述的单元，其中，所述第二电极(18)和/或所述第一电极(16)具有环形形状。

6.如权利要求1所述的单元，其中，所述环形第一塌陷区域(24)设置成以所述单元(10)或薄膜(14)的中心(C)为圆心。

7.如权利要求1所述的单元，其中，在位于所述内部区域(20)内的第二塌陷区域(28)中，所述薄膜(14)被进一步塌陷到所述衬底(12)。

8.如权利要求7所述的单元，其中，所述第二塌陷区域(28)位于所述单元(10)或薄膜(14)的中心区域或所述中心(C)中。

9.如权利要求1所述的单元，其中，所述薄膜(14)在所述内部区域(20)中具有固有应力。

10.如权利要求1所述的单元，其中，所述薄膜(14)还包括位于所述第一塌陷区域(24)中的第三电极(19)。

11.如权利要求1所述的单元，所述第二电极(18)和/或所述第三电极(19)具有至少一个开口，其中，到所述第四电极(21)和/或所述第二电极(18)的连接器(38、39)位于所述开口中。

12.如权利要求1所述的单元，其中，所述薄膜(14)被永久性塌陷。

13.如权利要求1所述的单元，其中，所述薄膜(14)仅在所述单元的操作期间被塌陷。

14.一种制造预塌陷电容式微机械换能器单元(10)的方法，所述方法包括：

-提供包括第一电极(16)的衬底(12)，

-提供包括第二电极(18)的薄膜(14)，其中，所述单元具有所述薄膜(14)被安装到所述衬底(12)所处的外部区域(22)以及在所述外部区域(22)内或被所述外部区域(22)包围的内部区域(22)，并且

-在位于所述内部区域(20)内的第一塌陷环形区域(24)中，使所述薄膜(14)塌陷到所述衬底(12)。

15.如权利要求14所述的方法，所述薄膜(14)还包括位于所述第一塌陷区域(24)中的第三电极(19)，

其中，使所述薄膜(14)塌陷到所述衬底(12)包括在所述第一电极(16)和所述第三电极(19)之间施加电压。