[发明专利]清洗装置及方法有效
| 申请号： | 201280050693.4 | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN103889602A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 床嶋裕人 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;C02F1/78;G02F1/13;G02F1/1333;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 董雅会;郭晓东 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用简易的装置即可防止阶流式的清洗装置的菌体繁殖，可提高被清洗物的清洗效率的清洗装置及方法。利用滚轮（2）来搬送玻璃基板（1），利用喷射清洗喷嘴（3）以及最终冲洗喷嘴（4）来清洗基板（1）。将纯水供给至最终冲洗喷嘴（4）。来自最终冲洗喷嘴（4）的清洗排出水流入水槽（7），从泵（9）供给至喷嘴（3）。当水槽（7）内的菌体数增加时，将水槽（7）内的水在臭氧水供给装置（12）中循环通水，向水槽（7）内供给臭氧水，用以杀菌。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，具有：在被清洗物的搬送方向下游侧，对被清洗物喷出清洗水的下游侧喷嘴；容置来自该下游侧喷嘴的清洗水的水槽；以及在被清洗物的搬送方向上游侧，对被清洗物喷出由该水槽所供给的清洗水的上游侧喷嘴，其特征为：具备：向该水槽供给臭氧气体或臭氧水的臭氧供给装置。
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