[发明专利]清洗装置及方法

说明书

技术领域

本发明关于一种用清洗水来清洗玻璃基板等的被清洗物的清洗装置及方法，特别是关于把在搬送方向下游侧在清洗中使用过的清洗水用于搬送方向上游侧的清洗，即所谓阶流式（cascade type）的清洗装置及方法。

背景技术

近年来，为了有效率地制造以液晶电视等为代表的平板显示器（FPD），FPD用玻璃基板逐渐大型化，清洗玻璃基板的清洗机也随之大型化。此外，因为清洗机的大型化，清洗时所使用的清洗水量也跟着增加。在清洗机中，为了控制制造成本设想各种的节水方案，其一为：将最终冲洗水等较干净的清洗排出水储存在贮槽，进行抽吸来施以简单的纯化处理（利用过滤器来进行过滤等），再利用于前级的喷洒清洗水，即进行所谓的阶流清洗。（专利文献1～3）。

近年来，虽为了减低制造成本而提升了水的再利用率，但随之增加了再利用水在系统内的滞留时间，而产生菌体在系统内繁殖的问题。在系统内繁殖的菌体在喷洒清洗时附着在玻璃基板，引起制品良率的降低。

防止这样的菌体繁殖、或者是去除已繁殖的菌体的方法为：在已确认菌体繁殖时，长时间停止清洗生产线，以浓缩药液来进行杀菌清洗。但是，这种以浓缩药液来进行杀菌清洗的方法又会产生以下问题：停止清洗生产线所引起的生产性降低、使用浓缩药液的非经常作业所引起的安全性降低、废液处理成本的增加、以及杀菌后的冲洗不良增加等问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平8-71512

专利文献2：JP特开平11-44877

专利文献3：JP特开2011-200819

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的为提供一种：用简易的装置即可防止阶流式的清洗装置的菌体繁殖，可提升被清洗物的清洗效率的清洗装置及方法。

用以解决课题的手段

本发明的清洗装置系具有：在被清洗物的搬送方向下游侧，对被清洗物喷出清洗水的下游侧喷嘴；容置来自该下游侧喷嘴的清洗水的水槽；以及在被清洗物的搬送方向上游侧，对被清洗物喷出由该水槽所供给的清洗水的上游侧喷嘴，其特征为：具备：向该水槽供给臭氧气体或臭氧水的臭氧供给装置。

本发明的清洗方法系为利用本发明的清洗装置来清洗被清洗物。

在本发明中，优选间歇性地将臭氧气体或臭氧水供给至水槽，特别是，臭氧气体或臭氧水的供给频率3～90天1次，每次对水槽供给臭氧气体或臭氧水以使水槽内的臭氧浓度在1～20分钟内维持0.1～1mg/L。

[发明效果]

根据本发明，不须要使用浓缩的清洗药液即可简易地对阶流式的水槽内进行杀菌，可节水以及维持良品率。在本发明中，通过将水槽内含有臭氧的水供给至上游侧喷嘴，不须停止清洗生产线，另外不会增加废液处理成本，即可进行从水槽一直到上游侧喷嘴为止的系统内的杀菌。

附图说明

图1是有关实施形态的FDP用玻璃基板的清洗装置及方法的说明图。

具体实施方式

以下参照图1来说明本实施方式。图1的清洗装置为平流式玻璃基板清洗机，利用滚轮2依序来搬送玻璃基板1，经过各种的清洗处理，最后利用喷射清洗喷嘴3来进行二流体喷射和高压喷射等的喷射清洗，利用最终冲洗喷嘴4以洁净的纯水来进行最终冲洗，然后移行至气幕等的沥干干燥步骤，完成清洗。

从各喷嘴3、4朝向玻璃基板1喷射清洗水。来自纯水配管5的纯水被供给至最终冲洗喷嘴4。

在该清洗步骤中，从最终冲洗喷嘴4朝向玻璃基板1喷射对玻璃基板1进行了清洗的清洗排出水，是清净度较高的水，由水槽（阶流槽）7从再利用配管6承接该清洗排出水。利用送水泵9对该水槽7内的水进行抽吸，并将该水经由配管10朝向前级的喷射清洗喷嘴3供给，来清洗玻璃基板1。在水槽7连接了剩余水的排出配管8。

再者，从喷射清洗喷嘴3朝向前级侧的玻璃基板1喷射时的清洗排水的一部分，经由配管11被回收至水槽7内，剩余的部分则经由配管15被排出。但是，也可以不进行来自配管11的回收，将所有前级的清洗排出水都从配管15排出亦可。

从臭氧水供给装置12经由配管13将臭氧水供给至该水槽7。配管14用来将来自水槽7的水朝向臭氧水供给装置12导入的构件。即，从水槽7通过配管14将水导入至臭氧水供给装置12，通过溶入臭氧气体变成臭氧水，该臭氧水经由配管13被供给至水槽7。