[发明专利]线宽测量系统无效
| 申请号： | 201280048336.4 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN104040323A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 乔轶;迈克尔·W·多莱扎尔;大卫·L·霍费尔特;杰克·W·莱;凯瑟琳·P·塔尔诺夫斯基 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01B11/25 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 梁晓广;关兆辉 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了一种方法，其包括使询问光束穿过傅里叶变换透镜并且传送到材料的表面上，以形成所述材料的一个或多个表面特征的夫琅和费衍射图案。处理所述衍射图案的图像以确定所述特征的尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：使询问光束穿过傅里叶变换透镜并且到达材料的表面上，以形成所述材料的一个或多个表面特征的夫琅和费衍射图案；形成所述衍射图案的图像；以及处理所述衍射图案的图像，以确定所述特征的尺寸。
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