[发明专利]线宽测量系统

权利要求书

1.一种方法，包括：

使询问光束穿过傅里叶变换透镜并且到达材料的表面上，以形成所述材料的一个或多个表面特征的夫琅和费衍射图案；

形成所述衍射图案的图像；以及

处理所述衍射图案的图像，以确定所述特征的尺寸。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述特征的尺寸由所述衍射图案中的中央级光束和第一最小衍射之间的距离确定。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述衍射图案的图像由CCD摄像机捕获。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述衍射图案的图像通过将询问光束反射离开所述材料的表面并且到达屏幕或透镜上来形成。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述衍射图案的图像通过将所述询问光束透射穿过所述材料的表面并且到达屏幕或透镜上来形成。

6.根据权利要求4所述的方法，其中所述衍射图案的图像通过将询问光束反射到屏幕上来形成。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述询问光束是准直的。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述表面位于所述傅里叶变换透镜和所述傅里叶变换透镜的焦点之间。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述材料的表面是柔性的。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述材料的表面是非静止的。

11.一种设备，包括：

光源，将询问光束发射到傅里叶变换透镜中并且到达表面上，以形成所述表面上的特征的夫琅和费衍射图案，其中所述透镜和所述表面以逆傅里叶变换模式布置；

图像采集装置，捕获所述表面上的特征的夫琅和费衍射图案的图像；和

处理器，用于确定所述衍射图案的大小，并且计算所述表面上的特征的尺寸。

12.根据权利要求11所述的设备，其中所述图像采集装置包括CCD摄像机。

13.根据权利要求11所述的设备，其中所述处理器在所述图像采集装置内。

14.根据权利要求11所述的设备，其中所述光源是准直的。

15.根据权利要求12所述的设备，其中所述光源是激光器。

16.根据权利要求11所述的设备，还包括位于所述光源和所述傅里叶变换透镜之间的光束扩展器。

17.根据权利要求11所述的设备，其中所述询问光束反射离开所述表面并且到达屏幕或透镜上。

18.根据权利要求11所述的设备，其中所述询问光束透射穿过所述表面并且到达屏幕或透镜上。

19.一种用于监控材料的表面上选定特征的尺寸的系统，包括：

光源，邻近所述表面定位，其中所述光源发射询问光束穿过傅里叶变换透镜并且到达所述表面上，以形成所述表面上的一个或多个特征的夫琅和费衍射图案，其中所述表面位于所述傅里叶变换透镜和所述傅里叶变换透镜的焦点之间；

图像采集装置，用于捕获所述表面上的所述特征的夫琅和费衍射图案的图像；和

处理器，用于测量所述夫琅和费衍射图案的大小，以确定阵列中选定特征的尺寸。

20.根据权利要求19所述的系统，其中所述材料的表面是非静止的。

21.根据权利要求19所述的系统，其中所述光源在所述材料的表面之上扫描。

22.根据权利要求19所述的系统，其中所述光源是激光器。

23.根据权利要求19所述的系统，其中所述夫琅和费衍射图案的图像在离开所述材料的表面的反射中获得。

24.根据权利要求19所述的系统，其中所述夫琅和费衍射图案的图像经由穿过所述材料的表面的透射获得。

25.根据权利要求19所述的系统，其中所述光源位于所述材料的表面上方。