[发明专利]离子源有效
| 申请号： | 201280042691.0 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN103858202A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 角谷晶子;桥本清;佐藤洁和;长内昭宏;吉行健;来栖努;林和夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01J27/24 | 分类号： | H01J27/24;H05H1/24;H05H7/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供了一种离子源，所述离子源用于输出具有高纯度的多价正离子的离子束。所述离子源10包括：靶12，通过由激光照射形成的等离子体从所述靶12生成电子和正离子；第一电源(第一电压E1)，其将所述靶12的电势设置为高于正离子的目的地(对应于图1中的加速通道18)的电势；以及第二电源(第二电压E1)，其将从所述靶12到所述目的地18的路径(对应于图1中的滤波器电极15)的电势设置为高于靶12的电势。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【主权项】：
一种离子源，包括：靶，通过由激光照射形成的等离子体从所述靶生成电子和正离子；第一电源，所述第一电源将所述靶的电势设置为高于所述正离子的目的地的电势；以及第二电源，所述电源将从所述靶到所述目的地的路径上的电势设置为高于所述靶的电势。
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