[发明专利]离子源有效
| 申请号： | 201280042691.0 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN103858202A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 角谷晶子;桥本清;佐藤洁和;长内昭宏;吉行健;来栖努;林和夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01J27/24 | 分类号： | H01J27/24;H05H1/24;H05H7/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;夏青 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源，包括：
靶，通过由激光照射形成的等离子体从所述靶生成电子和正离子；
第一电源，所述第一电源将所述靶的电势设置为高于所述正离子的目的地的电势；以及
第二电源，所述电源将从所述靶到所述目的地的路径上的电势设置为高于所述靶的电势。
2.根据权利要求1所述的离子源，还包括：
等离子体传输管道，所述等离子体传输管道具有对所述靶和所述正离子的所述目的地开放的两个末端部分，所述等离子体传输管道具有被设置为与所述靶的电势相同的电势。
3.根据权利要求1所述的离子源，其中
所述第二电源被配置成供应可调电压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝，未经株式会社东芝许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201280042691.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有加强结构的摩托车手把管总成
- 下一篇：一种摩托车后视镜安装结构
