[发明专利]用于平版印刷应用的来自小分子的金属氧化物膜有效
| 申请号： | 201280041124.3 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103781854B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | D·M·苏利文;C·J·尼弗;王玉宝;T·奥塔拉 | 申请（专利权）人： | 布鲁尔科技公司 |
| 主分类号： | C08L85/00 | 分类号： | C08L85/00;C08L101/00;C08J5/18;G03F7/004;H01L21/027 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 郭辉 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于平版印刷应用的金属氧化物膜。该膜由包括金属氧化物前体化合物的组合物形成，该金属氧化物前体化合物包括除了硅以外的金属和准金属。这些膜易于制备，且可用下述的多种配体改性，包括醇盐、酚盐、羧酸盐/酯、β‑二酮和β‑酮酸酯。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平版印刷 应用 自小 分子 金属 氧化物 | ||
【主权项】：
一种硬掩模组合物，其包括分散或溶解于溶剂系统中的金属氧化物前体化合物，所述前体化合物选自下组：聚合物、单体及其混合物，其中：所述聚合物包括下述重复出现的单体单元：以及所述单体具有下述分子式：其中：m至少是1；各n独立的是1‑3；a是2‑4；x指单体重复单元数目；M是除了硅以外的金属或准金属，其中，各M独立选自下组：铝、钛、锆、钒、锗、铝、铪、镓、铊、锑、铅、铋、铟、锡、硼、锗、砷、碲、和稀土金属；各R1和R2独立的选自下组：氢、烷基、芳基、烷氧基、苯氧基和乙酰氧基；以及各R3独立地选自下组：烷基和羰基，所述组合物基本上不含硅。
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