[发明专利]晶片检查有效
| 申请号： | 201280040556.2 | 申请日： | 2012-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN103748454B | 公开（公告）日： | 2017-03-01 |
| 发明（设计）人： | 阿纳托利·罗曼诺夫斯基;伊万·马列夫;丹尼尔·卡瓦尔德杰夫;尤里·尤迪特斯凯;迪尔克·沃尔;史蒂文·比耶拉卡 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示一种经配置以检查晶片的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 检查 | ||
【主权项】：
一种经配置以检查晶片的系统，其包括：照明子系统，其经配置以在所述晶片上同时形成多个照明区域，其中所述区域中的每一者之间实质上无照明通量；扫描子系统，其经配置以跨所述晶片对所述多个照明区域进行扫描；集光子系统，其经配置以同时且单独地使从所述区域中的每一者散射的光成像到两个以上传感器上，其中所述两个以上传感器的特性经选择成使得所述散射光不会成像到所述两个以上传感器之间的间隙中，且其中所述两个以上传感器响应于所述散射光而产生输出；光学元件，其经配置以同时且单独地分割在所述集光子系统的集光数值孔径的不同区段中收集的从所述区域中的第一者散射的光，其中所述两个以上传感器进一步经配置以检测所述不同区段中的一者，且其中所述系统进一步包括经配置以检测所述不同区段中的另一者的另外两个以上传感器；其中所述光学元件进一步经配置以同时且单独地分割在所述集光数值孔径的额外不同区段中收集的从所述区域中的第二者散射的光，其中所述两个以上传感器进一步经配置以检测所述额外不同区段中的一者，且其中所述另外两个以上传感器经配置以检测所述额外不同区段中的另一者；及计算机子系统，其经配置以使用所述两个以上传感器的所述输出以及所述另外两个以上传感器的输出来检测所述晶片上的缺陷。
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