[发明专利]晶片检查

权利要求书

1.一种经配置以检查晶片的系统，其包括：

照明子系统，其经配置以在所述晶片上同时形成多个照明区域，其中所述区域中的每一者之间实质上无照明通量；

扫描子系统，其经配置以跨所述晶片对所述多个照明区域进行扫描；

集光子系统，其经配置以同时且单独地使从所述区域中的每一者散射的光成像到两个或两个以上传感器上，其中所述两个或两个以上传感器的特性经选择成使得所述散射光不会成像到所述两个或两个以上传感器之间的间隙中，且其中所述两个或两个以上传感器响应于所述散射光而产生输出；及

计算机子系统，其经配置以使用所述两个或两个以上传感器的所述输出来检测所述晶片上的缺陷。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个照明区域中的每一者在所述晶片上具有矩形形状。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明子系统使用由多个光源产生的多个光束在所述晶片上形成所述多个照明区域。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明子系统使用从单一光束产生的多个光束在所述晶片上形成所述多个照明区域。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个照明区域在所述晶片上彼此不重叠。

6.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括光学元件，所述光学元件经配置以同时且单独地分割在所述集光子系统的集光数值孔径的不同区段中收集的从所述区域中的每一者散射的所述光，其中所述两个或两个以上传感器进一步经配置以检测所述不同区段中的一者，且其中所述系统进一步包括经配置以检测所述不同区段中的另一者的另外两个或两个以上传感器。

7.根据权利要求6所述的系统，其中所述系统进一步经配置以取决于待由所述两个或两个以上传感器检测的所述不同区段中的所述一者及待由其它两个或两个以上传感器检测的所述不同区段中的所述另一者而更改或更换所述光学元件。

8.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括光学元件，所述光学元件经配置以同时且单独地分割在所述集光子系统的集光数值孔径的不同区段中收集的从所述区域中的每一者散射的光，其中所述两个或两个以上传感器进一步经配置以使用所述两个或两个以上传感器的一部分检测所述不同区段中的一者且使用所述两个或两个以上传感器的不同部分检测所述不同区段中的另一者，且其中所述两个或两个以上传感器的所述一部分及所述另一部分在所述两个或两个以上传感器上彼此不重叠且不邻接。

9.根据权利要求1所述的系统，其中所述集光子系统包括散射光集光器，其具有非完全衍射限制的分辨率。

10.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括额外两个或两个以上传感器，所述额外两个或两个以上传感器包含图像增强器，其中所述集光子系统进一步经配置以同时且单独地将从所述区域中的每一者散射的所述光成像到所述额外两个或两个以上传感器，其中所述额外两个或两个以上传感器响应于所述散射光而产生额外输出，且其中所述计算机子系统进一步经配置以当传感器电子噪声主导所述两个或两个以上传感器中的总通道噪声时使用所述额外输出代替所述输出来检测所述晶片上的所述缺陷。

11.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括经配置用于光子计数的额外两个或两个以上传感器，其中所述集光子系统进一步经配置以同时且单独地使从所述区域中的每一者散射的所述光成像到所述额外两个或两个以上传感器，其中所述额外两个或两个以上传感器响应于所述散射光而产生额外输出，且其中所述计算机子系统进一步经配置以使用所述额外输出来检测所述晶片上的所述缺陷。

12.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明子系统包括频率转换激光器，其中所述照明子系统进一步经配置以使用光脉冲同时形成所述多个照明区域，且其中被引导到所述晶片上的所述区域的所述光脉冲在所述光脉冲的持续时间内在空间上无变化且在所述光脉冲的所述持续时间内具有实质上恒定的强度。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述照明子系统进一步包括耦合到所述激光器的光束整形光学元件。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述照明子系统包括频率转换激光器，其中所述照明子系统进一步经配置以使用光脉冲同时形成所述多个照明区域，且其中被引导到所述晶片上的所述区域的所述光脉冲在所述光脉冲的所述持续时间内具有实质上恒定的强度。