[发明专利]用于保持物体的装置、组件和平台组件、微光刻系统以及装置制造方法

摘要

一种示例装置包括第一与第二部分，其通过在重叠区域彼此间隔交错的第一与第二组多个插片而可移动地连接在一起。当该重叠区域被压缩时，避免该第一与第二部分相对彼此位移以在第一与第二正交方向（例如z与y方向）提供相对高的硬度，以及在第三正交方向（例如x方向）提供相对低的硬度。该装置可与致动器协调使用，其中将该致动器的操作与该重叠区域的压缩自动化。

主权项

一种用于保持物体的装置，其特征在于，包括：第一对象；第二对象，其与该第一对象在第一方向排列配置；以及至少一个保持装置，其包含第一组多个插片，其具有在第一方向的长度、正交于该第一方向的第二方向的宽度和正交于该第一方向与该第二方向的第三方向的厚度，且安装于该第一对象；第二组多个插片，其具有在该第一方向的长度、该第二方向的宽度和该第三方向的厚度，且安装于该第二对象，并且在重叠区域处与该第一组多个插片间隔交错；以及压缩装置，其配置成通过施加夹持力而在该第三方向上对该重叠区域压缩，以禁止该第一对象与该第二对象相对彼此位移，并且提供在该第一对象与该第二对象之间的该第一方向上的第一硬度以及在该第一对象与该第二对象之间的正交于该第一方向与该第二方向的该第三方向上的第二硬度，其中该第一硬度大于该第二硬度，且配置成通过减少该夹持力而未对该重叠区域压缩，以允许该第一对象与该第二对象相对彼此位移。