[发明专利]用于保持物体的装置、组件和平台组件、微光刻系统以及装置制造方法

权利要求书

1.一种装置，其包括：

第一部分与第二部分，其通过在重叠区域彼此间隔交错的第一组与第二组多个插片而能移动地连接在一起，当被压缩时，禁止该第一组与第二组插片相对彼此位移以在第一与第二正交方向提供第一硬度以及在第三正交方向提供第二硬度，其中该第一硬度大于该第二硬度。

2.如权利要求1所述的装置，其中至少在该重叠区域中，插片彼此平行。

3.如权利要求1所述的装置，更包括：

压缩力部件，其相对于该重叠区域设置，且可选择地操作以增加施加至该重叠区域的压缩力以及减少施加至该重叠区域的压缩力。

4.如权利要求3所述的装置，更包括：

致动器，其被构造成与该压缩力部件的操作协调地对对象产生位移力。

5.如权利要求1所述的装置，更包括：

致动器，其对由该装置所保持的对象产生位移力。

6.如权利要求5所述的装置，其中由该位移致动器所施加的该位移力是与该重叠区域减少的压缩相协调。

7.如权利要求5所述的装置，其中该位移致动器相对该装置对称地设置。

8.如权利要求5所述的装置，其中该致动器被构造成，当该重叠区域未被压缩时，该致动器促使该对象移动，以及当该重叠区域被压缩时，该致动器并不促使该对象移动。

9.如权利要求1所述的装置，其中该第一组插片与该第二组插片中的各插片具有长度、厚度以及宽度，该宽度大于该厚度以在实质上平行于该长度的第一方向和在垂直于该第一方向的第二方向提供硬度，以及在正交于该第一与第二方向的第三方向提供挠性。

10.如权利要求1所述的装置，其中：

该第一组插片利用各垫片彼此分开，以及

该第二组插片利用各垫片彼此分开。

11.如权利要求1所述的装置，更包括：

施加压缩致动器，其响应于夹持命令压缩该重叠区域，且其响应于去除夹持命令减少或去除对该重叠区域的压缩。

12.一种装置，其包括：

保持装置，设置于第一对象与第二对象之间，该保持装置包括第一部分与第二部分，其通过在重叠区域彼此间隔交错的第一组与第二组多个插片而能移动地连接在一起，当被压缩时，禁止该第一组与第二组插片相对彼此位移；

压缩装置，其能操作对该重叠区域施加压缩力；以及

致动器，其连接至该第一对象与第二对象之一，能操作该致动器以施加位移力，以促使该第一对象与第二对象至少之一相对于另一对象移动。

13.如权利要求12所述的装置，其中：

该具有压缩重叠区域的保持装置在第一与第二正交方向显示第一硬度以及在第三正交方向显示第二硬度；以及

该第一硬度大于该第二硬度。

14.如权利要求12所述的装置，更包括：

控制器，其连接至该保持装置、该压缩装置以及该致动器，该控制器被构造成，当该压缩装置对该重叠区域施加减少压缩力时，命令该致动器以促使至少一个对象移动，以及当该压缩装置对该重叠区域施加增加压缩力时，命令该致动器不促使至少一个对象移动。

15.如权利要求12所述的装置，其中该致动器包括堆栈环气动式致动器。

16.一种组件，包括：

第一对象，其能相对第二对象移动；以及

至少一个耦接件，其在该第一对象与该第二对象之间延伸；

各耦接件包括各保持装置，该保持装置包含耦接至该第一与第二对象的第一部分与第二部分，该第一与第二部分通过在重叠区域中彼此间隔交错的第一组与第二组多个插片而能移动地连接在一起，当被压缩时，禁止该第一组与第二组插片相对于彼此位移以提供该第一对象各部分的支撑，具有在第一与第二正交方向的第一硬度以及在第三正交方向的第二硬度，其中，该第一硬度大于该第二硬度。

17.如权利要求16所述的组件，其中该耦接件更包括压缩装置，其被构造成对该重叠区域施加选定次数的力以压缩该重叠区域。

18.如权利要求16所述的组件，更包括：

至少一个致动器，其被构造成使得该第一对象相对于该第二对象以选定次数移动。