[发明专利]与离子植入系统一起使用的高电压电源供应器用的电流限制器无效
| 申请号： | 201280040083.6 | 申请日： | 2012-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN103765545A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 可劳斯·贝克;可劳斯·派崔;皮尔·卢比克 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 臧建明 |
| 地址： | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示一种与离子源组合件一起使用的浪涌保护系统。所述系统包括与热离子二极管或热离子三极管以及离子源组合件串联耦合的高压电源。所述高压电源供应器封闭在压力槽中并且驱动所述离子源组合件。所述热离子二极管或三极管包括安置在离子源组合件罩壳与高压电源供应器的输出端之间的绝缘管并且利用现有离子源组合件组件来限制在所述离子源组合件的电弧故障期间对所述电源供应器的破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 系统 一起 使用 电压 电源 供应 器用 电流 限制器 | ||
【主权项】：
一种浪涌保护系统，与离子源组合件一起使用，所述浪涌保护系统包括：离子源组合件；高压电源供应器，用于驱动所述离子源组合件；以及热离子二极管组合件，串联耦合在所述高压电源供应器的输出端与所述离子源组合件之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280040083.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型阅读臂
- 下一篇：一种新型智能型遥控直升机
