[发明专利]用于处理气流的装置有效
| 申请号： | 201280040003.7 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103732307A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | S.A.沃罗宁;M.J.阿特伍德 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 代易宁;傅永霄 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 为了增大消除装置(10)中直流等离子体焰炬的可操作范围，该装置包括功率控制器，该功率控制器被配置为通过等离子体源气体流量调节器(24)的选择性控制来控制等离子体焰炬的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 气流 装置 | ||
【主权项】：
一种用于处理气流的装置，包括：直流等离子体焰炬，用于当由电能源通电时由源气体产生等离子体光焰；流量调节器，用于调节提供给被通电的焰炬的源气体的流量；以及功率控制器，被配置为通过所述流量调节器的选择性控制来控制所述等离子体焰炬的功率。
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