[发明专利]用于处理气流的装置

权利要求书

1. 一种用于处理气流的装置，包括：直流等离子体焰炬，用于当由电能源通电时由源气体产生等离子体光焰；流量调节器，用于调节提供给被通电的焰炬的源气体的流量；以及功率控制器，被配置为通过所述流量调节器的选择性控制来控制所述等离子体焰炬的功率。

2. 如权利要求1所述的装置，包括电流控制器，用于控制由所述电源提供给所述焰炬的电流的量；其中所述功率控制器被配置为通过所述电流控制器和所述流量调节器的选择性控制来控制所述等离子体焰炬的功率。

3. 如权利要求1所述的装置，其中所述功率控制器被配置为通过改变所述电流和所述源气体流量来改变提供给所述焰炬的功率。

4. 如权利要求2所述的装置，其中所述功率控制器被配置为在多个不同的功率状态中控制所述焰炬的功率；通过控制提供给所述焰炬的电流，所述功率可在一种功率状态内变化，并且通过调节源气体的流量而控制在各状态之间切换。

5. 如权利要求4所述的装置，其中所述等离子体焰炬被配置为处理需要用于处理的不同量的功率的多种气流，并且所述多种功率状态被布置为与各自不同量的需用功率相对应。

6. 如权利要求4或5所述的装置，其中所述等离子体焰炬被配置为在空闲模式中操作以降低电能的消耗，并且所述功率状态中的至少一种功率状态被布置为与在空闲模式中操作所述等离子体焰炬所需的功率相对应。

7. 如权利要求4至6中任一项所述的装置，其中在一种状态内，与所述焰炬的功率控制的限值相比，通过控制电流所述功率可变化相对较小的量。

8. 如权利要求4至7中任一项所述的装置，其中功率在各状态之间的阶跃变化与所述焰炬的功率控制的限值相比相对较大。

9. 如前述权利要求中任一项所述的装置，其中所述流量调节器是质量流量控制器。

10. 如权利要求1至8中任一项所述的装置，其中所述流量调节器包括被布置为允许不同流量的源气体流经的多个气体管道、以及用于引导所述源气体流经所选择的一个或多个气体管道用以调节流向焰炬的流量的流量开关。

11. 如当从属于权利要求4时的权利要求10所述的装置，其中所述流量开关被连接用于由所述功率控制器操作，并且所述功率控制器被配置为根据所述等离子体焰炬的操作所需的功率状态来控制源气体经过所选择的一个或多个气体管道中的哪个气体管道被输送。