[发明专利]具有单用阀的MEMS和操作方法有效
| 申请号： | 201280039409.3 | 申请日： | 2012-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103732966A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | A·费伊;P·陈 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | F16K99/00 | 分类号： | F16K99/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 周家新;蔡胜利 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 在一个实施例中，一种打开到空腔的通道的方法包括：提供供体部分；邻近于所述供体部分形成加热元件；形成抵靠所述供体部分的第一牺牲板块，其中，所述供体部分和所述牺牲板块是可收缩对；形成第一空腔，所述第一空腔的一部分以第一牺牲板块为界；通过加热元件产生热量；使用所产生的热量和所述供体部分由第一牺牲板块形成第一体积减小式板块；和通过形成第一体积减小式板块形成到第一空腔的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 单用 mems 操作方法 | ||
【主权项】：
一种打开到空腔的通道的方法，包括：提供供体部分；邻近于所述供体部分形成加热元件；形成抵靠所述供体部分的第一牺牲板块，其中，所述供体部分和所述牺牲板块是可收缩对；形成第一空腔，所述第一空腔的一部分以第一牺牲板块为界；通过加热元件产生热量；使用所产生的热量和所述供体部分由第一牺牲板块形成第一体积减小式板块；和通过形成第一体积减小式板块形成到第一空腔的通道。
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