[发明专利]多柱电子束设备和方法有效
| 申请号： | 201280036744.8 | 申请日： | 2012-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103703536A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 哈什亚·沙德曼;罗伯特·G·海恩斯;克里斯多夫·M·西尔斯;迈赫兰·纳赛尔-古德西 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/10 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 所揭示的一个实施例涉及一种设备，其包含电磁体，所述电磁体经布置以在区中提供大规模磁场。所述设备进一步包含使用穿过磁性材料的孔阵列在所述区中形成的多个电子束柱的阵列。另一实施例涉及一种产生电子束阵列的方法。使用至少两个磁极在区中产生大规模磁场。使用柱阵列产生电子束阵列，所述柱阵列是使用穿过定位于所述区中的磁性材料的孔形成的。还揭示其它实施例、方面和特征。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种设备，其包括：电磁体，其经布置以在区中提供大规模磁场；以及多个电子束柱的阵列，所述多个电子束柱的阵列是使用穿过磁性材料的孔阵列而形成于所述区中。
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