[发明专利]用于低相干干涉测量的扫描设备

摘要

给出了一种利用光学相干断层摄影进行样品的横向扫描的系统。低相干干涉测量系统包括第一多路复用单元和第二多路复用单元。第一多路复用单元配置为接收第一辐射束并且包括第一多个光延迟元件，第一多个光延迟元件配置为基于由第一辐射束在第一多个光波导当中穿过的光学路径对第一辐射束引入组延迟。第二多路复用单元配置为接收第二辐射束。第二多路复用单元包括第二多个光调制元件，第二多个光调制元件配置为在第二多个光波导当中区分第二辐射束，以便产生一个或多个输出辐射束。第二多个光波导配置为朝着样品引导一个或多个输出辐射束。

主权项

一种低相干干涉测量系统，包括：光源，配置为产生辐射束；分割元件，配置为从所述光源接收所述辐射束并至少产生第一辐射束和第二辐射束；样品臂，配置为从所述分割元件接收第一辐射束并产生一个或多个输出辐射束，并朝着样品引导所述一个或多个输出辐射束；参考臂，配置为从所述分割元件接收所述第二辐射束并使所述第二辐射束返回；和检测器，配置为根据从所述样品收集的散射的辐射和从参考臂返回的第二辐射束来进行低相干干涉测量，其中，所述样品臂包括：第一多路复用单元，配置为从所述分割元件接收所述第一辐射束并且包括第一多个光学元件，所述第一多个光学元件配置为基于由所述第一辐射束在第一多个光波导当中穿过的光学路径对所述第一辐射束引入组延迟；及第二多路复用单元，配置为从所述第一多路复用单元接收所述第一辐射束并且包括第二多个光学元件，所述第二多个光学元件配置为在第二多个光波导当中区分所述第一辐射束，以便产生一个或多个输出辐射束，其中所述第二多个光波导配置为朝着样品引导所述一个或多个输出辐射束。