[发明专利]锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法有效
| 申请号： | 201280032409.0 | 申请日： | 2012-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103718655A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 藤井亮;中村胜;今堀良夫;星正治 | 申请（专利权）人： | 康适智能护理系统株式会社 |
| 主分类号： | H05H6/00 | 分类号： | H05H6/00;C23C14/14;C23C14/16;C23C14/24;G21K5/08;H05H3/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张斯盾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 获得一种锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法，其具备锂靶的锂的膜厚的测定功能，并且可使蒸镀源向锂靶移动，自动地进行消耗了的锂靶的再生。锂靶自动再生装置(106)可自动地再生锂靶的锂，该锂靶自动再生装置(106)具备使锂蒸镀到锂靶上的锂蒸镀单元(1)，锂蒸镀单元(1)可移动到锂靶侧，使锂蒸镀到锂靶上。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 再生 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种锂靶自动再生装置，该锂靶自动再生装置可自动地再生锂靶的锂，其特征在于，上述锂靶自动再生装置具备使上述锂蒸镀到上述锂靶上的锂蒸镀单元；上述锂蒸镀单元可移动到上述锂靶侧，使上述锂蒸镀到上述锂靶上。
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