[发明专利]锂靶自动再生装置及锂靶自动再生方法

权利要求书

1.一种锂靶自动再生装置，该锂靶自动再生装置可自动地再生锂靶的锂，其特征在于，

上述锂靶自动再生装置具备使上述锂蒸镀到上述锂靶上的锂蒸镀单元；

上述锂蒸镀单元可移动到上述锂靶侧，使上述锂蒸镀到上述锂靶上。

2.根据权利要求1所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂靶自动再生装置还具备用于测定上述锂的膜厚的锂膜厚测定单元。

3.根据权利要求2所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂靶自动再生装置可切换上述锂蒸镀单元和上述锂膜厚测定单元的位置。

4.根据权利要求2所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂靶自动再生装置还具备照射端口，并可切换上述锂蒸镀单元、上述锂膜厚测定单元和上述照射端口的位置。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂靶自动再生装置还具备锂除去单元，该锂除去单元用于进行上述锂的除去。

6.根据权利要求5所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂除去单元与上述锂靶自动再生装置邻接地设置。

7.根据权利要求5或6所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂蒸镀单元、上述锂膜厚测定单元和上述锂除去单元分别具备可远程控制的控制单元。

8.根据权利要求1～7中的任意一项所述的锂靶自动再生装置，其特征在于，上述锂靶自动再生装置用于中子源，该中子源采用了用于加速质子的加速器。

9.一种锂靶自动再生方法，其特征在于，采用权利要求1～8中的任意一项所述的锂靶自动再生装置，自动地再生锂靶的锂。

10.一种锂靶自动再生方法，可自动地再生锂靶的锂，其特征在于，具备蒸镀工序，在该工序中，使锂蒸镀源移动到上述锂靶侧进行蒸镀，该锂蒸镀源使上述锂蒸镀到上述锂靶上。

11.根据权利要求10所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，是部分地再生锂靶的方法。

12.根据权利要求11所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，还具备测定上述锂的膜厚的测定工序。

13.根据权利要求12所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，上述测定工序在上述蒸镀工序之前进行。

14.根据权利要求12或13所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，上述测定工序在上述蒸镀工序之后进行。

15.根据权利要求10所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，是整体地再生锂靶的方法。

16.根据权利要求15所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，还具备进行上述锂的除去的除去工序。

17.根据权利要求16所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，进行上述锂的除去的除去工序包含：

将清洗液喷射到上述靶的锂上的喷射工序；和

在上述喷射工序后，使上述靶干燥的干燥工序。

18.根据权利要求16或17所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，上述除去工序在上述蒸镀工序之前进行。

19.根据权利要求15～18中的任意一项所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，还具备测定上述锂的膜厚的测定工序。

20.根据权利要求19所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，上述测定工序在上述蒸镀工序之后进行。

21.根据权利要求10～20中的任意一项所述的锂靶自动再生方法，其特征在于，适用于使由加速器加速的质子与锂靶的锂反应而生成中子的方法。